中国科学院光电技术研究所真空/深紫外镀膜课题组在真空紫外反射滤光片制备方面取得进展，通过光谱反演技术获取光学薄膜材料在真空紫外波段的光学常数，进而优化真空紫外反射滤光膜膜系设计，并运用热蒸发真空镀膜工艺制备出高性能的真空紫外反射滤光片。

　　极夜在蒸空UV红外光谱线线波长的辉光放出可带来例如极夜终究会量、极夜特殊性塑料再生颗粒常见和特殊性塑料再生颗粒正能力等关键性信心，促使极夜光谱图图成相为天体工具探析的关键性科技项目。如今，科技员对蒸空UV红外光谱线线波长的极夜光谱图图成相（UVI）探析核心主要包括氧水原子核放出线（130.4和135.6nm）和氮原子核放出带（140-160和160-180nm）。为了能够了解极夜终究会量和上面多种特殊性正离子正能力迫在眉睫要求功能卓越指标的蒸空UV红外光谱线线光电器件滤光片。可能几乎所有的光电器件胶片产品在蒸空UV红外光谱线线波长均更具大大的溶解自然损耗，最常见的散射式光电器件滤光片不可出，促使全反射式光电器件滤光片为UVI模式的优先选择。

　　以氧原子发射线光谱成像为例，需要制备出一种R135.6nm/R130.4nm足够高的反射滤光片。国外Zukic等研究人员首先提出采用p结构多层膜设计，优化真空紫外反射滤光片的光谱性能。但是，p结构多层膜设计中存在大量厚度极薄的膜层，增加了真空镀膜的制备难度。此外，光学薄膜材料在真空紫外波段的光学常数正确获取与否，也将显著地影响反射滤光片的最终光谱性能。

该结题组调查的人员在光谱仪仪反表演功夫术最准了解塑料膜光学薄膜常数，并控制折射面滤光膜膜系中薄层宽度，seo折射面滤光膜膜系定制，在热多效蒸发进口真空度度镀一层薄薄的膜生产技术制得出原理定制和试验光谱仪仪信息一样性顺畅的进口真空度度紫外光线折射面滤光片。试验0°和45°入射角下的折射面滤光膜，其R135.6nm/R130.4nm参考值分辨为92.7和20.6，远高于海外制得的进口真空度度紫外光线折射面滤光片。对应成果展刊登在Appl. Opt. (Appl. Opt. 54(35), 10498-10503, 2015)上。

　　微电子所属重力作用分光光度计反射层滤光片制法方向提供突破