立体度（flatness;planeness)，是包括形位公差中的某种，指物质面上有的宏观政策凸凹不平非常相对来说佳立体的偏差值。在老式的查测形式中，立体度的精确自动检测的一般说来有：塞规/塞尺精确自动检测的法、液立体法、智能机械立体干预仪精确自动检测的法（平晶干预法）、平均能力仪/字母平均能力仪精确自动检测的法、及及打表精确自动检测的法。

　　塞尺估测法，只需买套可随着身随带的塞尺就可随着时随地展开水平度的粗测。现阶段更多厂仍运用该策略展开查测。会因为其定位精度低，日常最薄塞尺为10um，查测使用率较低，结局不太新一轮，必须查测组件表面。

　　液空间图形法，特征提取接入器任务远离，最适合測量间断性或不间断性的大空间图形的空间图形度，但測量周期长，且对平均温度敏锐，仅应使用于測量精准度较低的空间图形。

　　激光平面干涉仪测量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。

　　标准仪測量法，广泛的适用于轴类零件的表面的渐近线度友谊面度測量。測量误差高、稳固性好、体积太小、带入利于。并且用该最简单的方法測量时要复发挪动机器设备角度，的记录各测点的数据分析源，费时、努力，修改时候长，数据分析源加工编译程序烦琐。

　　打表校正法，举例APP软件为扁平测微仪及三地图坐标值仪，至少优以三地图坐标值仪为APP软件更广泛。校正时告诉器在待测样件上活动，按确定的布点测取各校正点相对来说于校正基准面的统计资料，再经途统计资料处里评审出单面度不确定度。但其高效率较低，一般说来同一个样件须要几十分钟的英文，离15ppm的信心能差甚远。