什么是表面精度?什么是光洁度?
2025-03-05
派大星
在光学元件制造生产的过程中,尤其是滤光片,我们经常遇到几个关于光学镜片的一些参数,比如表面精度与光洁度,为此我们为大家做一个简单的科普认识,方便大家对于这两个术语做一个基本的认识,以便在采购或设计滤光片时做出更合适的决策。

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1.新技术作用相对
| 指标 | 表层导致精度 | 滑腻度 |
| 典型的情况 | 粒子束轮廓、光点粘附、电量欠均质 | 散射耗费、散射率变低、杂散光抑制 |
| 衡量生产工具 | 涉及仪、外部轮廓仪 | 原子团力体视显微镜(AFM)、白光灯抵触仪 |
| 艺操纵 | 紧密研磨设备、打磨抛光、面型测量 | 超精密制造增加光泽、表层的镀膜刚度操作 |
| 極限挑战性 | 大尽寸眼镜片的面型不一样性(如λ/50) | 超圆滑外表(Ra<0.1nm) |

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4. 制作工艺设备的分工负责在开发加工工艺时,相对 表面层准确度管理和光泽度管理分为几条阶段中! 表面层误差把控磨细关键时期:金刚石砂轮粗磨(平面设计度误差值±5μm); 磨光的时候:氧化反应铈磨光液精抛(起到PV<λ/4); 面型检验:智能机械约束仪实时时间反馈系统调整。 
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| 规则保障体系 | 从表面精准度的要求 | 光泽度让 |
| ISO 10110电子光学制图 | 标示“3/”说道面型精度(如3/2为λ/2) | “5/N×M”表达出来凹痕与麻点 |
| 英军标MIL-PRF-13830 | 空间图形度定级A-B-C(A级是最高的) | 外壁安全性能等级保护(60-40等) |
| 激光器皮肤管理仪企业原则 | PV<λ/4@632.8nm | Ra<1nm |